微纳研究中心

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团队介绍
微纳光学团队致力于微纳光学工艺研发、光学器件研制,具备微纳光学工艺及光学器件的仿真设计、加工、测试和封装的能力。团队先后承担了国家重点研发计划、国家自然科学基金区域创新发展联合基金等重点国家重点项目,成功研制了片上光学相控阵、偏振可切换定向耦合器件、亚波长周期波导阵列、多功能光子集成芯片、超低功耗光通信芯片、波长复用芯片、多种薄膜铌酸锂光波导器件等微纳光学器件,在《Nat. Commun.》《Phys. Rev. Lett.》《Adv. Mater.》《Light Sci. Appl.》等国内外期刊上发表多篇论文,获多项授权发明专利。
微纳工艺开发
工艺研发
中心可提供晶圆制造涉及的光刻、涂胶显影、注入、氧化扩散、外延生长、清洗、薄膜沉积、刻蚀、化学机械研磨等工艺研发服务和各类工艺检测服务。
工艺设计套件(PDK)
中心开发了系列硅光无源器件,如不同刻蚀深度波导、光纤耦合器、分路/耦合器、多信道复用器、热控移相器等,同时也发展了系列的高速有源器件,如载流子耗散型的相位调制器、马赫曾德尔结构的强度调制器、微环谐振腔调制器、硅锗高速探测器等,可为工艺研发服务提供成熟的器件库支撑。
测试封装
中心可提供光电子芯片测试和封装,包括电学封装、光学封装,以及散片和晶圆上光电子器件、链路的光电性能测试等。
光电子器件开发
硅基光器件研制
• 硅基器件设计
中心拥有从事硅基光波导及器件设计的专业人员,能提供各类硅基光器件的仿真和优化设计服务。

• 硅基光电子器件加工
中心拥有工艺工程师团队和硅基光器件加工所需的工艺和检测设备,具备硅基光电子器件的专业加工能力。
铌酸锂薄膜光电器件工艺
• 器件设计
中心拥有从事薄膜铌酸锂光波导及器件设计的专业人员,能提供各类薄膜铌酸锂光器件的仿真和优化设计服务。

• 薄膜铌酸锂光器件工艺
中心拥有工艺工程师团队和薄膜铌酸锂光器件加工所需的工艺和检测设备,具有薄膜铌酸锂光波导及光电子器件的专业加工能力。
联系电话:15328009447    联系人:李老师 张老师
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