4月17日上午，天府兴隆湖实验室邀请美国俄亥俄州立大学电气与计算机工程系博士、山东大学机械工程学院博士导师、机械电子学科带头人、机电研究所所长闫鹏教授开展专题讲座。闫鹏教授围绕微纳运动系统设计与高性能伺服的关键技术与工程应用相关研究成果作分享。

闫鹏教授表示，超精密伺服系统是微纳制造及电子信息装备等高端制造领域的关键环节，对我国集成电路产业、高端精密仪器以及宇航工程等战略科技领域意义重大。分享中，闫鹏教授介绍了所在团队在微纳运动系统的设计方法和高动态高精度纳米伺服技术方面的研究开展情况，以及相关技术在国家光源工程及集成电路装备等精密工程领域中的工程应用实例。

分享结束后，闫鹏教授参观了实验室微纳研究中心，与相关领域项目负责人及科研骨干进行了深入的交流讨论。